深圳某半导体器件心片加工制作厂厂，晶圆加工制作流程中制造含硅、氟的特色废液治疗，开发治疗投资规模1200吨/日。废液治疗组分繁杂，带有奈米级硅颗粒状及盐酸，传统文化治疗工艺不易符合标准。 化工废水的成分及原因 首要被污染的物 ：氢氧化铁硅（100-500nm孔径）、氟阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 起源生产工艺 ：晶圆刻蚀废污水（45%）、CMP药剂学机器拋光废污水（40%）、的设备冲干净水（15%） 进行处理的工艺程序图 去创新利用"耐腐蚀沉垫+特殊膜分离法"方法途径： 钙盐乳浊液 ：污泥脱水氯化钙我们要除氟铁离子（形成CaF2沉淀自己） 水解酸化池不起作用 ：和好斜管沉淀池剂变现氢氧化铁硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm外径膜挪用微细颗料 反融于设备 ：脱盐率>98%，回收分类处理率75% 蒸发器析出 ：浓水段实行氟化物零排出 不可能治疗效果 氟化物盐浓度：<8mg/L（超过地方考试内容一级标10mg/L） 硅含量：<5mg/L 水資源造纸废水处理率：70%用做放凉塔补水保湿 危险废物减药：化掉残留物量较传统与现代工艺设计下降60%