好项目背景图案
深圳某半导体技术厂制作期间中而且制造高硅废渣(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟废渣(F⁻ 200-300mg/L)。五种废渣相溶后容易产生氟硅酸电解质溶液,传统意义化学沉淀出的法仍未稳定可靠基准。新项目追求同时进行我们要除硅和氟(排放口基准:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
电镀废水营养成分及来历
主要的因素
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
原因
:晶圆刻蚀废液、CMP磨细废液、设施设备洗水
加工生产工艺设计图
联动发展关键时期
:
有级反映池
:
第1级加药系统Ca(OH)₂转换CaF₂和CaSiO₃放置;
第二点级添加PAC(聚合反应氯化铝)淬炼二沉池。
固液溶合的时候
:
反渗透膜设备
:运用0.02μm口径膜零部件挪用电解质溶液硅和微细沉淀自己物。
角度脱氟时期
:
抗逆性硫化铝物理吸附塔
:残留物氟铝离子吸收祛除。
不可能郊果
出水出水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远强于国度基准。
超滤膜整体通量平稳在15LMH,无机化学的清洗过渡期缩短至60天。
飞灰经压滤后含水量率<65%,可按寻常固体废物防范。