某半导体芯片厂在生产制造全过程中适用硝酸铵系显影液液，出现高密度含NOx废气，日处里量50吨。废气中含NO2-达到了2000mg/L，且所含进样器有机酸光刻胶有效成分，处里难度很大过大。 2. 化工废水成分表及由来 显影液制作工序废弃物（重要被污染物） 晶圆清晰废渣 烟粉尘洗衣机清洗塔排污 3. 正确处理加工制作工艺 流程图 选取"高级的氧化物+有级动物加工"去创新工艺技术： 什么是臭氧硫化 ：确认二硫化碳情况器引发O3，将难降解塑料有机化学物转换为小氧分子产品，时将NO2-硫化为NO3-。 怪物膜不良反应釜（MBR） ： 第1级：缺氧症状的环境下加药甲醇作为一个碳源，增进反反硝化作用症状 第二点级：好氧生物体膜再次骤光降解有机会物 电化工深度的清理 ：所采用钛基纳米涂层电级，根据钛电极功能根除细化残渣环境污渍。 4. 以后成果 NOx总氮下降8mg/L如下 COD增强在30mg/L三岁 焦化废水回收利用率达60% 平台正常运作耗能把控好在3.5kWh/吨水，较一般加工过程节能减排20%。