半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
楼盘的背景
该产业群园涌入了十余家半导体器件相关客户,设计的概念日处置意识5000吨,要有处置出于有所不同客户的混后产生生产废水。主要是因为各客户产生技术一定的差异大,产生生产废水组成非常复杂反复无常,处置的难度较高。
生产废水部分及来源于
工业废液主要涉及到五大类:高酸度生物碳肥料工业废液(光刻胶、定影液等)、含氟工业废液(刻蚀步骤)和强酸强碱工业废液(洗掉步骤)。特出部分涉及到异丙醇、四甲基氢阳极氧化铵等难生物降解生物碳肥料物,相应氟化物、氧化还原电位等有机物环境有机废气。工业废液COD跌涨大(500-3000mg/L),氟化物酸度100-500mg/L,氧化还原电位50-150mg/L。
正确处理技术流程步骤
适用"类别搜集+分质加工加工处理+聚集纵深加工加工处理"的的创新经济模式:
行业室内分为预治理:含氟废污水随便获得并预治理
工业园区管网的进行分类传输体统
一体化自动调节池均衡性饮用水
多级混凝土沉积洗去漂浮物和固体
快速海洋生物想法器(HBR)加工有机肥料感染物
活性氧催化剂的作用硫化吸附难工业制硝酸有机的物
反渗透膜性软件采取脱盐治疗
红外光谱线消毒剂提高认识留水安全保障
独特安装了一直监测程序程序和手动投药程序,因对水源下降。
然后治疗效果
程序运动五年来,正确处理郊果平稳可信度。出水出水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氯离子<5mg/L,总氮<15mg/L,实现水质监测Ⅳ类条件,位置回收利用于小区园林绿化及加热塔保湿,回收利用率高达30%。去年减小新的水选用约十万吨,为小区厂家节俭电费数十万来万。