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半导体加工废水处理案例|半导体加工废水处理方法

新项目背景图案 该光电器件材料制造业企业的靠近长三边形区县,主要的生产的加工8厘米和12厘米晶圆,日废气废排水量约2000吨。鉴于光电器件材料生产的加工加工冗杂,废水加工处理工艺进行加工处理成份繁多且具有多种多样难吸附物资,制造业企业的固有进行加工处理配制是无法充分考虑亟须苛刻的环保健康废气标准,故投资的三千万元新健专业课程废水加工处理工艺进行加工处理进行加工处理站。 生产废水化学物质及源头 该公司废水处理工艺大部分为八类: 含氟焦化废水:因素于晶圆蚀刻、刷洗多种工序,氟阴阳离子质量浓度超过2000mg/L; 有机会会废气:来于光刻、成像等技艺,包含异丙醇、甲苯等有机会会液体,COD值在5000mg/L以上; 酸碱性废污水:出现于擦拭和表面能工作要素,pH值波动性大; 含铜废污水:根据镀膜和重金属化工行业艺,铜阳离子盐浓度约150mg/L。 工作方法步骤 面向各不相同特性的废水操作方法,利用"分为整理+分质操作+尾部高度操作"的组合式工艺设计: 含氟化工废水除理线: 有级化学反应沉定:先加药系统氯化钙调整pH至6-7,加上入PAC和PAM斜管沉淀出的池沉定; 特异性腐蚀铝物理吸附:提高认识氟化合物酸度降落到8mg/L有以下。 有机肥料生活污水整理线: 微电解法作用:铁碳活性炭过滤器床预操作提供废水处理方法可血生化性; UASB厌氧的管式反应器的管式反应器:HRT=24h,COD快速清理率65%; MBR膜生物学反馈器:用PVDF双层合成纤维膜,出液COD<50mg/L。 酸碱性污废水 结合体统: 自己pH调理:进行免费在线检测仪控住加酸加碱量; 水解酸化池沉垫:剔除中合诞生的自动隐藏物。 含铜废水净化处理方法净化处理: 物理化学沉淀物中物:加药NaOH改善pH至9-10,演变成氢腐蚀铜沉淀物中物; 铝阴离子交流:事关铜铝阴离子盐浓度<0.3mg/L。 厚度办理单元尺寸: 二空气氧化碳促使空气氧化:进一歩生物降解难吸附有机会物; 生物炭过滤系统:取除对比度和轻微被废水; 太阳光的UV线清洁:有效确保出水量微生物发酵制品质量指标不合格。 终极特效 创业项目使用后,水流水影响稳定的完成《光电工业企业水影响物污染物标准》(GB 39731-2020)特意污染物卫生防护距离必须,这里面氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜<0.3mg/L。第一年可才能减少氟化物污染物约120吨,COD污染物约400吨,环保再生资源的回收污水从而的约5万吨。整体自行化层次高,使用价格的控制在8.5元/吨水之间。

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